电子洁净厂房装修设计时是如何解决微振的

　　电子洁净厂房装修设计时的微振控制是一个复杂且至关重要的过程，特别是在高端电子产品制造领域，如芯片、晶圆的生产中。这类产品对生产环境的洁净度和振动控制有着极高的要求。微振，即使是振动幅值较低、人体无法感知的环境振动，也会干扰振动敏感的精密设备和仪器的正常工作，进而影响加工产品的光洁度、波纹度、垂直度、尺寸精度等。因此，在电子洁净厂房的装修设计中，解决微振问题至关重要。那么如何解决呢?现在就随合洁科技电子净化工程公司一起来了解下吧!

　　一、选址与地基设计

　　首先，在选址阶段，需要对场地环境振动进行详尽的调查。电子洁净厂房应远离交通振源及海岸边，包括公路、铁路、机场等，以减少外部交通振动对厂房内精密设备的影响。同时，还需调查周边企业生产的设备振动情况，避免选址在附近有大型振动设备工厂的区域。

　　地基设计是防微振的基础。对于电子洁净厂房，地基设计需充分考虑承载能力和稳定性，采用适当的地基加固措施，以减少地面振动和共振现象。进行详尽的地质勘察，了解地下土层分布、地质构造等情况，为地基设计提供依据。对于填土较厚的场地，应采用结构地坪，结合防微振措施，将生产区的地坪与柱下桩承台连成一个整体的桩筏厚板。这种较厚的大体积钢筋混凝土底板质量大、刚度大，桩筏基础和地基土紧密接触，具有良好的阻尼值，能明显减弱外界传来的振动。

　　二、结构设计

　　结构设计方面，电子洁净厂房应满足抗震和抗振要求，增加结构的刚度和稳定性，减少振动传递至洁净区域。合理设置隔振缝，以减少振动在不同结构部分之间的传递。同时，合理规划设备布局，将产生振动的设备远离精密设备和仪器仪表，以减少设备间振动的影响。

　　防微振设计还需从上部结构入手。对于独立的生产区域，可以采取设置独立的防微振平台的方式，隔离周围楼层的振动。对于大面积的生产区域，如芯片、面板的生产层，需采用特殊的楼层带空洞的厚板体系，如华夫板或格子梁，以满足高净化等级和高防微振等级的要求。华夫板采用专用膜壳，施工时形成洞间钢筋混凝土密肋梁，膜壳固附于楼板混凝土面，无需再施做净化厂房的环氧树脂饰面。格子梁体系则是在楼层采用双向密肋梁，在格子梁上铺设钢梁和高架地板，以满足防微振和洁净度要求。

　　三、施工设备与安装

　　在施工阶段，使用低振动施工设备是关键。或在设备周围采取隔振措施，如橡胶垫、弹簧隔振器等，以减少施工设备对厂房内环境的影响。合理安排施工顺序和方法，避免剧烈振动的施工操作，如爆破、振动锤等。在材料运输过程中也需采用减振措施，如使用减振车辆或减振垫。

　　设备安装过程中，同样需要注重防微振。使用隔振支座和隔振垫，减少振动传递至地面和周围设备。对于精密设备，可采用空气弹簧隔振装置，其具有自动调节阻尼和校正倾斜的功能，能有效隔振。

　　四、振动监测与维护

　　在施工和运营阶段，使用振动传感器和监测系统对洁净厂房的振动进行实时监测至关重要。通过监测数据分析振动情况，及时发现和解决振动问题。根据振动监测结果，调整和优化隔振措施，确保生产环境的稳定性。定期对隔振措施进行检查和维护，确保其长期有效。

　　振动监测不仅是对现有防微振措施效果的评估，也是对未来可能出现振动问题的预警。通过持续监测，可以及时发现振动异常，并采取相应的措施进行修复和改进，从而确保电子洁净厂房内精密设备的正常运行和产品的生产质量。

　　五、案例分析

　　以某第8.6代薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)项目为例，该项目在防微振设计方面采取了多项措施。场地土层依次为人工填土、粉质黏土、卵石、全风化泥岩、强风化泥岩(砂岩)、中风化泥岩(或砂岩)。建筑柱下采用桩基，以中风化砂质泥岩(或中风化泥质砂岩)为持力层。地坪处理采用结构地坪，与柱下桩承台连成一个整体的桩筏厚板，板厚500mm，以增大地基基础的刚度，减弱外界振动。

　　在上部结构方面，该项目生产楼层采用华夫板体系，厚度750mm。华夫板采用专用膜壳，施工时形成洞间钢筋混凝土密肋梁，膜壳固附于楼板混凝土面，无需再施做净化厂房的环氧树脂饰面。这种设计不仅满足了高净化等级和高防微振等级的要求，还降低了总体造价。

　　综上所述，电子洁净厂房装修设计时的微振控制是一个涉及选址、地基设计、结构设计、施工设备与安装、振动监测与维护等多个方面的复杂过程。通过采取一系列综合措施，可以有效减少振动对精密设备和仪器的影响，确保生产环境的稳定性和产品的生产质量。

　　在选址阶段，应远离交通振源及海岸边，并进行详尽的地质勘察和周边企业设备振动情况调查。地基设计需采用适当的地基加固措施，并结合结构地坪和桩筏厚板等设计，增大地基基础的刚度。结构设计方面，应满足抗震和抗振要求，合理设置隔振缝和规划设备布局。在施工和安装阶段，使用低振动施工设备和隔振装置是关键。同时，还需进行振动监测和维护工作，确保防微振措施的有效性和长期稳定性。

　　通过这些措施的实施，电子洁净厂房可以为精密电子设备的制造提供稳定的生产环境，满足高端电子产品对生产环境洁净度和振动控制的极高要求。这不仅有助于提高产品的生产质量和生产效率，还有助于提升企业的竞争力和市场占有率。