电子工业洁净厂房工艺设计的基本要求

　　随着科学技术的发展，电子产品的更新换代、产品生产技术的发展十分迅速，以集成电路为代表的微电子产品尤为显著，集成电路产品基本上是2～3年或更短的时间就会提升一代产品，以TFT-LCD为代表的显示器件正在取代彩色显像管的显示器件生产。微型计算机的迅速发展，使各种元器件生产发展十分迅速。因此，电子工业洁净厂房的设计、建造必须适应这种快速发展的需要，从洁净厂房的规划开始，对于电子工厂、洁净厂房的工艺设计、工艺布局应充分考虑电子产品发展的灵活性，以满足电子产品生产工艺改造和扩大生产的需求。今天就随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧！

　　以集成电路芯片制造、TFT-LCD液晶显示器件生产用洁净厂为代表的微电子生产洁净厂房，具有洁净度要求严格、大面积、大体量和能耗大、运行费用高的特点，洁净厂房工艺设计是先导工序，所以对电子工业洁净厂房工艺设计的基本要求是：

　　1、在满足电子产品生产要求的前提下，合理进行洁净厂房工艺布局，合理确定各种公用动力设施的技术条件和要求等生产条件，做到能量消耗少、运行费用低、生产效率高和建设投资少。

　　2、合理进行人流路线、物料运输和仓储设施的配置和布置，满足电子产品洁净生产要求和产品生产工艺要求。

　　3、工艺设计应合理选择生产设备的自动化水平和物料运输的自动化水平，在经济、实用、安全可靠的条件下提高生产效率。

　　洁净厂房的工艺布局应综合各方面的因素，重点考虑生产工艺、人员操作、设备维修、物料运输、未来发展等各方面的要求。

　　在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时，应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。

　　下图是表示设备、人员等对单向气流的干扰和改进措施，左侧图示为物理障碍产生的干扰，右侧图(a)是采取调整工艺设备布置，改善气流流动;图(b)是改进设备构造、外形，改善气流;图(c)是改变人员的操作行为，改善气流;图(d)是改进气流流动方式，确保生产区域的洁净度要求。

　　工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉，需分别设置人员入口、物料入口和设备出入口，并应在各自的入口处设置相应的净化设施。

　　人员入口处的净化设施包括：单人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、气闸室等，具体选用何种形式，需根据洁净室的空气洁净度等级、人员数量、未来发展需求等确定。

　　物料净化设施包括：货物吹淋室、气闸室、压缩空气吹扫头等，一般可根据物料种类、包装方式和洁净室(区)的空气洁净度等级等确定。

　　洁净厂房中生产区、辅助区和各类生产设备的布置与洁净室内的气流流型、空气洁净度等级的保持密切相关。因此，在满足生产工艺和微振控制 、噪声控制等要求的前提下，在洁净室内要求空气洁净度严格的工序、设备应远离出入口或可能干扰气流的场所设置，并宜布置在上风侧。空气洁净度等级要求相同的工序或工作室宜相对集中布置。

　　另外，由于电子产品更新换代快，电子工厂在实际生产中，在线维修及调试、边生产边增加设备扩大生产能力的情况很多，因此，在做工艺布局时，应根据具体情况，考虑这些因素，留出相应的运作空间。

　　为避免不同空气洁净度等级的洁净室之间的频繁联系发生交叉污染，应根据电子产品生产工艺要求合理选择相应的技术措施，如：人的联系采用气闸室或空气吹淋室;大物件的运送也可以用气闸室，一般物件的运送可采用传递窗，穿越隔墙的管线应采用可靠气密措施等。